E14300 - SEMI E143 - Test Method for Measuring Power and Variation into a 50-Ω Load and Power Variation and Spectrum into a Load with a VSWR of 2.0 at any phase Angle StdVol-Silicon Materials & Process Control orgで入手可能となる。前版は2014年4月に出版された。

orgで入手可能となる。前版は2014年4月に出版された。

NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee

and repair the equipment

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年4月にwww

本書内で参照されている浸出テストとこれに関連する要求条件は，静的な状態での数値を提供する。

E14300 - SEMI E143 - Test Method for Measuring Power and Variation into a 50-Ω Load and Power Variation and Spectrum into a Load with a VSWR of 2.0 at any phase Angle StdVol-Silicon Materials & Process Control orgで入手可能となる。前版は2014年4月に出版された。The purpose of this Test Method is to provide an accurate method for measuring the output power and spectral content of radio frequency (RF) generators being driven into both matched and mismatched loads to simulate their actual performance in RF power delivery systems for semiconductor processing equipment to support SEMI E113. This Test Method specifies the testing procedures and test equipment required for precisely determining the output power and