F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証 Revision:SEMI F30-0710 - Superseded 2-1016 (technical revision)

2-1016 (technical revision)

本仕様は半導体プロセス装置，すなわち装置本体と，装置のEMO（緊急停止）システムが操作されるとその電力が直接影響を受けるすべてのサブシステムに適用される。

bear risks in execution and lead to high maintenance costs

1 grade nitrogen and argon bulk supply gases

SEMI F72-0214 (Reapproved 0221)

F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証 Revision:SEMI F30-0710 - Superseded 2-1016 (technical revision)global Gases Interfaces & Carriers Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org1998 1001ppm101ppb50LPM Referenced SEMI Standards SEMI F58 Test Method for Determination of Moisture Dry Down Characteristics of Surface Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectroscopy (APIMS) SEMI F68 Test Method for Determining Purifier Efficiency