S00300 - SEMI S3 - 製程液體加熱系統安全基準 StdTpc-Surface Mount Gas Distribution Systems SEMI T5-1106 (Reapproved 1111)

SEMI T5-1106 (Reapproved 1111)

This Specification defines the geometric and spatial limits of the alphanumeric code

マーキングシンボルは，新品基板からフルにパターン化済みの基板まで，

本スタンダードの目的は，450　mmのクラスタツールからなる搬送モジュールとプロセスモジュール間の必要最小レベルの物理接続性を保証することである。両方のモジュールが本スタンダードの要件を満たしているかぎり，プロセスモジュールは最小限の設計変更で任意のクラスタツールの搬送モジュールに接続できるようになることが期待される。

1の300 mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱うスタンダードである。

S00300 - SEMI S3 - 製程液體加熱系統安全基準 StdTpc-Surface Mount Gas Distribution Systems SEMI T5-1106 (Reapproved 1111)NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 1PLHSSEMI S10SEMI S14 PLHSPLHSSEMI S10SEMI S14 PLHSSEMI S10SEMI S14 Referenced SEMI Standards None.