E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ StdTpc-Photovoltaic 本スタンダードは， 1ポート・4ファスナーコンポーネントに適用される。コンポーネントは，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。

本スタンダードは， 1ポート・4ファスナーコンポーネントに適用される。コンポーネントは，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。

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orgで入手可能になり。初版は1995年発行。

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本スタンダードでは，

E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ StdTpc-Photovoltaic 本スタンダードは， 1ポート・4ファスナーコンポーネントに適用される。コンポーネントは，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee.20121220global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org1998620073 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the