F06900 - SEMI F69 - Test Method for Transport and Shock Testing of Gas Delivery Systems StdPbc-1020 このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

1 The scope of the GEM Standard is limited to defining the behavior of semiconductor equipment as viewed through a communications link

SEMI C57 — Specification for Argon

Ease of Use

2  The Guide describes metrology techniques that are applicable to both temporary and permanently BWSs

F06900 - SEMI F69 - Test Method for Transport and Shock Testing of Gas Delivery Systems StdPbc-1020 このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。This Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on August 22, 2013. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in December 2013; originally published March 2002; previously published July 2008. E This Standard was editorially modified in October 2017. A change was made to correct a nonconforming title per the Procedure