E07400 - SEMI E74 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Turbomolecular Pumps Revision:SEMI E74-0301 - Superseded In some cases

In some cases

The final goal of the Standard is to realize the traceability of semiconductor

SEMI E111-0305 (technical revision)

半導体製造工場では，ストッカ格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。この基本性能に加えて，300 mmウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると，工程内搬送が必要となる。製造装置へ，また製造装置からの材料搬送の完全自動化を経済的に実現するため，これらストッカ，工程間搬送および工程内搬送システムは，お互いに，そしてまた，その工場の"製造管理システム（MES）"と完全に統合する必要がある。

This Classification is to be used in the specification of semiconductor clean environments (including process tool environments) and of contamination control and measurement equipment performance

E07400 - SEMI E74 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Turbomolecular Pumps Revision:SEMI E74-0301 - Superseded In some casesNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Standard specifies the physical and electrical interfaces for turbomolecular pump (TMP) type vacuum pumps. Standardization of pump interfaces will allow for interchangeability of pumps. Device manufacturers use this