P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定 Revision:SEMI P12-0997 - Inactive and Services (IMMC)

and Services (IMMC)

この作業法は半導体素子工程で使われるウェーハのエッジ近傍形状の平坦性状況を定量化するのに適している。

SEMI E82-1101 (technical revision)

SEMI E164-0313E (editorial revision)

SEMI E78-0222 (technical revision)

P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定 Revision:SEMI P12-0997 - Inactive and Services (IMMC)NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.