F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 wafer thinning

wafer thinning

• Equipment recipe components and recipe steps contained in the recipe components as they apply to process modules

1  The first purpose of this Specification and Guide is to standardize requirements for Grades of sulfuric acid used in the semiconductor industry and to document testing procedures that may be used to support those requirements

org in June 2011

— 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。

F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 wafer thinningReferenced SEMI Standards SEMI E49 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components