E16600 - SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様：機械的インタフェースおよび搬送のスタンダード Revision:SEMI E166-0814 - Superseded As low stiffness can occur

As low stiffness can occur with any material

and other components

静電気放電（ESD： electrostatic discharge）は製品とレチクルに損傷を与える。また，ESDイベントは電磁干渉（EMI： electromagnetic interference）を引き起こし，その結果，設備故障が発生する。

To order more than one license

本仕様は，半導体パワー用デバイス／IC製造用のシリコン・オン・インシュレーター（SOI）ウェーハに関する要求条件を規定している。試験方法と受入基準を定義することによって，ユーザとサプライヤの両者は製品の特性と品質に関する要求条件を明確にすることができる。

E16600 - SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様：機械的インタフェースおよび搬送のスタンダード Revision:SEMI E166-0814 - Superseded As low stiffness can occurSEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee2014617global Audits and Reviews Subcommittee20148www. semiviews. org www. semi. org20135 450 mm 450 mm Referenced SEMI Standards SEMI E21 Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard SEMI E21. 1 Cluster Tool Module Interface 300 mm: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port