P01300 - SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中におけるナトリウムとカリウムの測定 Revision:SEMI P13-91 (Reapproved 1104) - Inactive 1，SEMI G82 ロードポート（300mm用）およびSEMI 154 （450mmウェーハキャリア用）のSEMI

1，SEMI G82 ロードポート（300mm用）およびSEMI 154 （450mmウェーハキャリア用）のSEMI E64の排除領域。

This Specification is part of a suite of Standards that specify the implementation of SEMI Standards for the Sensor/Actuator Network

SEMI E94-0308 (technical revision)

FPD用カラーフィルタの，光に対する耐性の測定方法を標準化することを目的とする。

the physical and the software integration into the equipment should be standardized to avoid efforts for specific installations depending on the equipment and fabrication environment

P01300 - SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中におけるナトリウムとカリウムの測定 Revision:SEMI P13-91 (Reapproved 1104) - Inactive 1，SEMI G82 ロードポート（300mm用）およびSEMI 154 （450mmウェーハキャリア用）のSEMINOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeNorth American Microlithography Committee2004711North American Regional Standards Committee20049www. semi. org2004111991 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the