M03400 - SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針 Revision:SEMI M34-0299 - Superseded SEMI M54-0304 (Reapproved 0611)

SEMI M54-0304 (Reapproved 0611)

本安全指導方針指示承載埠與晶圓搬運裝卸機器人供應商予涉及整合者所需關於其完成SME系統安全評估之文件內容。

orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1993年発行，前版は2000年10月発行。

本スタンダードは，Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年6月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年6月にwww

a Terminology Standard for back contact cell and module manufacturing is needed

M03400 - SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針 Revision:SEMI M34-0299 - Superseded SEMI M54-0304 (Reapproved 0611)0. 5 mSIMOXSIMOX SOI Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M22 Specification for Dielectrically Isolated (DI) Wafers